公海赌赌船555000aa-官方网站(welcome)

SICF-850

碳化硅长晶炉

采用感应/电阻加热当时,在不锈钢腔体内以液相外延法(LPE)生长SiC晶体、并可兼容物理气相法(PVT)。

高真空
腔体内壁经镜面抛光,减少气体附着。
各表面严密结合,减少泄露。
大抽速泵体,实现快速抽空功能。
高密封性阀体,实现长时间的真空保压。
 
高精密
高精度数控加工部件。
精密传动部件。
高品质电控系统。
实现运动系统的高精度控制。
 
全自动
自主开发系统,实现自动长晶过程。
兼容各种工艺操作流程。
操作权限分级,减少误动作。
自研异地网络远程监控SiC操作系统,实现无人值守。

型号 SICF-850碳化硅长晶炉
晶体尺寸 4~6寸
工艺 LPE/PVT
基本参数 主机尺寸 W1300xD1300xH3600mm
整机重量 约2.0T
支持系统 电     源 容    量 30kVA
电    压 3P 380VAC±10% 50/60Hz
冷 却 水 压    力 0.3~0.5MPa
流    量 200L/min
工艺气体 压    力 >0.2MPa
压缩空气 压    力 0.5~1.0MPa

全国热线

021-36162928

Copyright © 公海赌赌船555000aa 沪ICP备12008363号-1

在线咨询

感谢您的关注,汉虹专属技术顾问将为您提供服务

提交
取消

微端咨询

扫描二维码,汉虹专属技术顾问将为您提供服务

取消

扫描二维码,关注抖音汉虹官方公众号

取消